日本ULVAC DA-30D/60S/DAT-50D/100S/DAU-100H膜片型干式真空泵 ULVAC機(jī)工生產(chǎn)的系列干式膜片型真空泵，是通過橡膠膜片的往返運(yùn)動(dòng)達(dá)到真空。 膜片型干式真空泵不同于G系列直聯(lián)型油旋片式真空泵，無需油霧過濾，能保持環(huán)境清潔， 保養(yǎng)方便。

日本ULVAC DTC-21K/41K/DTC-60/DTC-120膜片型干式特氟龍真空泵 ◇各個(gè)接觸排氣氣體的部件都有PTEE制成 ◇適用于腐蝕性氣體或有機(jī)溶液 ◇真空度高，能抽至1000Pa

◇潔凈真空 由于無油、不會(huì)返流至泵內(nèi)，因此可以得到潔凈的真空。 ◇低噪音、低振動(dòng) 渦線管優(yōu)良的平衡性，降低了噪音和振動(dòng)。

當(dāng)真空泵長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)至超過0.1Mpa時(shí)，排氣口可能有油霧排出。安裝油霧捕集器(OMT系列)，或油霧分離器(OMT系列)，能減少環(huán)境污染。

ULVAC機(jī)工的GHD系列直聯(lián)型油旋片式真空泵，有以下優(yōu)良配置：逆流防止閥、氣鎮(zhèn)閥、強(qiáng)制給油和過熱保護(hù)裝置。GHD系列真空泵外形小巧、低噪音、低振動(dòng)，適合于內(nèi)置式或桌面上使用。